微弧氧化提升了傳統(tǒng)式的陽極氧化電流量、工作電壓電磁感應定律地區(qū)的限定，把陽極氧化電位差由幾十伏提升到好幾百伏，空氣氧化電流量也自小電流量發(fā)展趨勢到大電流量，由直流電發(fā)展趨勢到溝通交流，導致在試品表面上發(fā)生電暈放電、輝光、微弧充放電、乃至火花充放電等狀況。
一般覺得，微弧氧化全過程歷經(jīng)四個階段。
（1）陽極氧化階段
將試品放置一定的鋰電池電解液中，插電后，試品表面和負極表面發(fā)生成千上萬細微勻稱的乳白色汽泡，并且隨工作電壓上升，汽泡慢慢增大變密，轉(zhuǎn)化成速度也持續(xù)加速。在做到擊穿場強以前，這類狀況一直存有，這一階段便是陽極氧化階段。
（2）火花充放電階段
當增加到試品的工作電壓做到擊穿場強時，試品表面逐漸發(fā)生成千上萬細微、色度較低的火花點。這種火花點相對密度不高，無爆鳴聲。在該階段，試品表面逐漸產(chǎn)生瓷器層，但瓷器層的生長發(fā)育速度不大，強度和致相對密度較低，因此 應盡量避免這一階段的時間。
（3）微弧氧化階段
進到火花充放電階段后，伴隨著工作電壓再次上升，火花慢慢增大調(diào)亮，相對密度提升。接著，試品表面逐漸勻稱地發(fā)生放電孤斑。弧斑很大，相對密度較高，隨電流強度的提升而調(diào)亮，并伴隨明顯的爆鳴聲，這時即進到微弧氧化階段。
（4）熄弧階段
微弧氧化階段后期，工作電壓做到最高值，瓷器層的生長發(fā)育將發(fā)生二種發(fā)展趨勢。一種是試品表面的弧點愈來愈疏并最后消退，表面僅有小量的碎碎的火花，這種火花最后消退，爆鳴聲終止。另一種是表面僅有小量的碎碎的火花，這種火花最后會徹底消退，與此同時別的一個或好多個位置突然冒出很大的弧斑。這種很大的弧斑明亮晃眼，能夠長期維持沒動，而且造成很多汽體，爆鳴聲提升。
