高功率脈沖磁控濺射復(fù)合型開關(guān)電源以及電孤特性科學(xué)研究
高功率脈沖磁控濺射以其高離化率獲得普遍關(guān)心,是磁控濺射行業(yè)的新方位。
伴隨著對高功率脈沖磁控濺射充放電和低溫等離子特性的深入分析,牽制高功率脈沖磁控濺射運用的主要不足有:堆積速度低,非常容易進(jìn)到電孤充放電危害膜層質(zhì)量。
從開關(guān)電源視角考慮,對于高功率脈沖磁控濺射的高功率大電流量特性,選用復(fù)合型直流電/脈沖開關(guān)電源提高高功率脈沖磁控濺射的堆積速度,選用電孤抑止電源電路防止電孤對膜層質(zhì)量的傷害。
結(jié)果顯示,復(fù)合型高功率脈沖磁控濺射開關(guān)電源的設(shè)計方案有益于改進(jìn)堆積速度;電孤抑止電源電路可快速檢測,并根據(jù)電孤抑止控制回路迅速釋放出來殘留動能,防止了電孤對高功率脈沖磁控濺射的危害。