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高功率脈沖磁控濺射電源_蘇州粵輝煌專注微弧氧化加工處理服務(wù)

高功率脈沖磁控濺射電源

發(fā)布時間:2021-05-07閱讀量:844

SSPH系列高功率脈沖磁控濺射(HPPMS)電源工作于二級高頻變換模式,直流脈沖輸出。電源由供電及脈沖調(diào)制兩部分構(gòu)成,單個脈沖可輸出2-8兆瓦的瞬時功率。高功率密度的陰極材料將產(chǎn)生高的金屬離化率 ,并且不含靶材顆粒。電源適用于金屬工具膜層及裝飾膜層制備。


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