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高功率脈沖磁控濺射技術(shù)指標(biāo)_蘇州粵輝煌專(zhuān)注微弧氧化加工處理服務(wù)

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)指標(biāo)

發(fā)布時(shí)間:2021-05-07閱讀量:553

1. 極限壓強(qiáng):優(yōu)于5×10-4Pa;

2.抽速:大氣到5×10-3Pa抽氣時(shí)間小于25分鐘

3.升壓率:≦0.4Pa/hr 可以實(shí)現(xiàn)高功率磁控濺射功能 工藝過(guò)程自動(dòng)控制和手動(dòng)控制結(jié)合。


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