與蒸發(fā)鍍和濺射鍍等設備相比,離子鍍最大的特點是荷能離子在沉積過程中轟擊基體和膜層。荷能離子的轟擊效應主要有以下幾點。
由于離子鍍具有上述特性,其應用范圍非常廣泛。在金屬、合金、導電材料甚至非導電材料(頻偏壓)基體都可以采用離子鍍技術(shù)進行鍍膜。沉積的離子涂層可以是金屬膜、多合金膜、化合物膜;單層或復合涂層;梯度涂層和納米多層涂層。采用不同的膜材料、不同的反應氣體、不同的工藝方法和參數(shù),可獲得表面強化的硬耐磨涂層、致密穩(wěn)定的化學性能、固體潤滑層、各種顏色的裝飾涂層和電子、光學、能源科學等特殊功能涂層。離子鍍技術(shù)和離子鍍技術(shù)和離子鍍產(chǎn)品。
離子鍍設備真空涂層設備主要用于機械零件、飛機、船舶、汽車、排氣管、飛機發(fā)動機、高速旋轉(zhuǎn)零件、工具、超硬模具。